氦气检测气密性原理是利用氦质谱检漏仪，以氦气作为示踪气体进行检漏的技术，主要通过质谱仪将气体分子电离，让带电离子在磁场作用下偏转，不同质荷比的离子偏转半径不同，通过过滤器筛选测量收集到的氦气离子，达到检测目的。
原理将被检件通过管道与氦质谱检漏仪相连，被检件内部抽成真空。检漏时，用与氦气源相通的喷枪在被检件外壁可疑漏气部位喷吹氦气，如果该处有漏，氦气便通过漏孔进入检漏仪中而被检测出来。
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