也是在硅片上刻蚀惠斯通电桥，然后根据其压阻效应，将压力转换成破坏桥路平衡的电流，再根据电流变化与压力大小的线性关系，推算压力大小。好像所有的压阻传感器都是这个原理。
楼上误解了，扩散硅压力传感器并非都是充油芯体组成，像测量气体压力的扩散硅压力传感器就很少用到充油部件。
标签：传感器,扩散
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